KaloronePompa vakum lan kompresorApa piranti kanggo ngolah gas, nanging prinsip kerja lan ruang lingkup aplikasi beda.
Fungsi utama pompa vakum yaiku mbusak gas saka kamar reaksi kanggo nyuda tekanan ing wadhah kasebut kanggo entuk gelar vakum sing wis ditemtokake. Gas kasebut dijupuk saka ruang liwat mekanisme sucation lan exhaust kanggo mbentuk negara vakum. Pompa vakum biasane digunakake ing laboratorium, produksi produksi lan produksi. Ing darat wafer, peralatan etching, peralatan pemendhotan, peralatan EUV Lingkungan, peralatan ion implantasi, deteksi lan peralatan karakterisasi, lan sapiturute. Kabeh kudu vakum.
Fungsi kompresor yaiku nyedhot gas lan compress, nambah tekanan gas, kompresake gas dadi volume sing luwih cilik, lan nambah kapadhetan lan tekanan gas. Prinsip kerja yaiku kanggo compress gas liwat katup exhaust, banjur lebokake gas sing dikompres menyang tank gas utawa peralatan liyane. Kompresor biasane digunakake ing kebon lan kebon. Gas CDA asring diajak disedhiyakake dening kompresor. CDA digunakake kanggo ngontrol macem-macem peralatan otomatis lan katup. Kanggo Pabrik Semikonduktor, CDA kudu murni banget lan garing. Output udhara dening kompresor kudu ngliwati sistem filtrasi sing canggih kanggo mbusak minyak, kelembapan lan partikel liyane kanggo mesthekake yen ora ana kontaminasi saka wafer.
Apa kategori sakaPompa vakum lan kompresor?
Ing peralatan semikonduktor, pompa garing lan pompa molekuler umume digunakake. Pompa garing nuduhake pompa vakum sing ora nggunakake cairan minangka medium sing adhem utawa adhem, ngindhari masalah kontaminasi beluk. Umume digunakake kanggo ekstraksi vakum vakum peralatan semikonduktor. Pompa molekuler bisa entuk tingkat vakum sing dhuwur banget. Pompa garing lan pompa molekuler asring digunakake ing peralatan semikonduktor kanggo nyukupi kebutuhan saka macem-macem tingkat vakum.
Kompresor bisa dipérang dadi piston, skru, centrifugal, kompresor udara Rotary, lsp.
Amarga desain lan prinsip sing beda pompa vakum lan kompresor, pompa vakum ora bisa ngganti kompresor. Sanajan pompa vakum bisa nyuda tekanan lan kapadhetan gas, dheweke ora bisa ngompres gas dadi volume sing luwih cilik lan tekanan sing luwih dhuwur. Kajaba iku, amarga kinerja sing winates lan ciri kerja kanggo pompa vacuum, luwih cocog kanggo nangani gas kapadhetan lan lingkungan tekanan rendah.
Dadi, yen gas kudu dikompres volume lan tekanan sing luwih dhuwur, kompresor kudu digunakake. Kosok baline, yen gas kudu dijupuk lan negara vakum dibentuk, pompa vakum kudu digunakake.
Sanajan loro-loronePompa vakum lan kompresorApa piranti sing digunakake kanggo ngolah gas, ana bedane kanggo desain lan prinsip kerja. Sanajan pompa vakum bisa nyuda tekanan lan kapadhetan gas, ora bisa ngganti kompresor, utamane nalika gas kudu dikompres volume lan tekanan sing luwih dhuwur.
